
X 光无损检测(X-Ray)是 IC 封装质量管控与失效分析(FA)的核心手段。它在不破坏器件前提下,快速识别层剥离、空洞、裂纹、锡球异常与打线缺陷,并提供可量化的几何与缺陷统计数据,支持产线监控、来料检验与新产品导入(NPI)。
一、原理与优势
1. 成像原理
X 光穿透封装材料时,不同材料吸收程度不同,探测器将透射信号转换为灰度图像,从而显示内部结构对比。高原子序材料(如金属)呈暗;低密度材料(如树脂、气穴)呈亮。通过调节电压、曝光与放大倍数,可针对不同封装优化成像。
2. 核心优势
真正无损:无需破坏样品即可观察内部缺陷。
覆盖广:焊点、打线、锡球、基板等关键部位均可检测。
高效可量化:支持批量抽检,能测量尺寸、偏差与空洞率。
兼容多类封装:包括 BGA、CSP、QFN、Flip-Chip、SiP、3D 封装等。
二、IC 封装中的典型应用
1. 封装内部缺陷
检测层间剥离、裂纹(popcorn/crack)与空洞(void)。早期识别可指导工艺调整,避免批量失效。
2. 打线(Wire Bond)质量评估
评估连线完整性(断线、短接)、焊点位置与线弧高度,识别“颈缩”“抬脚”等物理缺陷,降低隐性电气失效风险。
3. 锡球与焊点检查
检测缺球、桥连、塌陷、内部空洞和润湿不良,量化空洞率并判断是否超过 IPC 等标准阈值。
4. 尺寸与几何参数测量
可精确测量裸片尺寸、芯片偏位、线长/弧高、焊点间距以及多芯片堆叠的对位情况,支持 NPI 与工程验证。
5. 吃锡面积比例(Solder Coverage)
基于灰度与几何识别量化焊盘被锡覆盖比例,为回流工艺优化与失效根因提供量化依据。
三、关键价值
质量控制与良率提升:高频检测及时发现工艺趋势,减少返工与报废成本。
失效分析与可靠性验证:缩短故障定位周期,为后续破坏性分析提供方向。
供应链管理:来料抽检与图像存档支持追溯与供应商评估。
NPI 与工艺优化:加速导入,减少破坏性试错,提高设计与工艺一致性。
四、如何选择合适的 X 光检测方案
选型时建议关注以下维度并与供应商确认验证样例:
分辨率与穿透力:针对封装厚度与微小特征(如微凸点)选择合适配置。
2D/3D 能力:常规筛查用 2D;复杂结构建议采用 3D/CT 分层成像。
自动化与集成:是否支持 AXI 自动编程、与 MES/SPC 数据对接。
测量与分析软件:尺寸、空洞率、缺陷分类与可导出报告的能力。
技术支持:供应商是否具备封装/FA 经验并提供方案制定与联合分析。
X 光无损检测以其穿透成像与可量化分析能力,已成为 IC 封装质量保障与失效分析的常规工具。合理选型并将检测结果纳入质量与供应链管理流程,能显著提升良率、缩短失效定位时间并支持新产品导入。随着先进封装与高可靠性需求增长,X 光检测的价值将持续扩大。









