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工业X光机在晶圆与半导体缺陷检测中的应用

透视微观世界:工业X光机在晶圆与半导体缺陷检测中的应用

一颗微小的晶圆(Wafer)承载着巨大的价值。然而,肉眼无法看见的内部裂纹、分层以及微细划痕,往往是导致最终产品失效的元凶。如何在该阶段实现高效、无损的质量管控?答案在于高精度的工业X光机检测技术。

X光检测设备,正是为解决此类高难度检测而生。不同于普通检测设备,这类设备搭载了封闭式X光管与高清数字平板探测器(FPD),能够穿透晶圆复杂的封装层,直击内部核心。

高穿透力            轻松穿透多层封装,清晰呈现内部金线、芯片贴装及晶圆结构。
极高分辨率            微米级成像能力,让晶圆表面的微细划痕与内部气泡无所遁形。
CNC 自动化检测            支持编程自动跑位,自动判断 NG/OK,大幅提升批量检测效率。
多轴联动操作            多角度旋转观测,全方位确认缺陷位置,避免误判。

晶圆缺陷检测实拍

以下是使用工业X光设备针对晶圆及半导体器件进行的实际拍摄影像。

基于商业信息协议及对合作伙伴知识产权的尊重,此处展示的X光检测影像仅作技术能力展示之用。骅飞诚挚邀请您携带/邮寄样品,体验设备的实际检测效果。

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